ASML envisage la sortie d’une version spéciale de son outil de lithographie dans l’ultraviolet profond (DUV) qui sera conforme aux dernières règles d’exportation américaines et qui pourrait être expédiée aux clients chinois sans licence, rapporte DigiTimes. L’appareil permettrait à des entreprises comme SMIC et Hua Hong de fabriquer des puces sur des nœuds de classe 28 nm et plus épais, mais il ne leur permettra pas d’utiliser des nœuds plus avancés.
L’outil de lithographie en question est le Twinscan NXT:1980Di, et actuellement c’est le scanner à immersion le moins avancé que TSMC fabrique encore. La machine a une optique d’ouverture numérique de 1,35 et est capable d’une résolution <38 nm, ce qui est suffisant pour les nœuds de classe 7 nm et même plus avancés. En fait, ce scanner - sorti à l'origine en 2016 - il a été utilisé par TSMC pour développer sa technologie de traitement de classe 7 nm.
Réduire cet appareil et augmenter sa résolution minimale prise en charge pour empêcher SMIC et d’autres fabricants de puces chinois de créer une technologie de processus inférieure à 28 nm est théoriquement possible. Gardant à l’esprit que la part du lion des revenus du SMIC provient de nœuds de production d’une épaisseur supérieure à 28 nm, il est probable que les entreprises chinoises seraient toujours intéressées à se procurer de tels outils.
Les dernières réglementations en matière d’exportation obligent les entreprises et les particuliers américains à obtenir des licences pour exporter des outils et des technologies capables de fabriquer des puces logiques avec des transistors non planaires sur des nœuds de 14 nm/16 nm et moins, 3D NAND avec 128 couches ou plus et des puces de mémoire DRAM de 18 nm moitié -pas ou moins. Les mêmes règles s’appliquent aux entreprises non américaines qui exportent des composants depuis les États-Unis, ce qui est le cas avec ASML et le Twinscan NXT:1980Di.
Les dernières règles d’exportation néerlandaises exigent qu’ASML obtienne une licence d’exportation pour vendre ses scanners Twinscan NXT:2000i à des entreprises chinoises. ASML n’a pas officiellement créé de version limitée du Twinscan NXT, mais si les réglementations à l’exportation continuent de restreindre les ventes de technologies avancées vers la Chine, une telle décision semble probable.